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在線氣體質(zhì)譜儀的工作流程圖 氣體樣品→進(jìn)樣系統(tǒng)→離子源→質(zhì)量分析器→離子檢測器→數(shù)據(jù)處理及控制系統(tǒng),離子源、質(zhì)量分析器、離子檢測器必須在真空下工作(10–4pa)。
質(zhì)譜儀是通過對樣品離子質(zhì)荷比的測定來分析其組成的一類儀器。實(shí)驗(yàn)室質(zhì)譜儀種類很多,從應(yīng)用的角度可以分為有機(jī)、無機(jī)、氣體、同位素質(zhì)譜儀幾類。有機(jī)質(zhì)譜是質(zhì)譜儀中數(shù)量最多,應(yīng)用廣的一類,在線氣體質(zhì)譜也是質(zhì)譜大家庭中*一種。在線氣體質(zhì)譜廣泛的應(yīng)用于殘余氣體分析(RGA)、催化研究(TPR、TPD、TPO)、環(huán)境尾氣分析、氣體純度分析、反應(yīng)動力學(xué)等。
離子檢測器-- 法拉第杯(直接電測法)離子流直接為金屬電極所接收,并用電學(xué)方法記錄離子流大小。二次電子倍增器(二次效應(yīng)電測法) 一定能量的正離子打擊陰極的表面,產(chǎn)生若干二次電子,然后用多級瓦片狀的二次電極(或稱打拿極)使二次電子不斷倍增,最后為陽極所檢測。 二次電子倍增器的檢測極限更低。好點(diǎn)的質(zhì)譜會同時(shí)配備這兩種檢測器。
在線氣體質(zhì)譜儀基本上被國外壟斷,關(guān)鍵技術(shù)還不能國產(chǎn)化,做的比較好有MKS 的Spectra 系列。
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