設備監控顯示

一. 靜電和靜電的危害

靜電是一種電能，它存留于物體表面，是正負電荷在局部范圍內失去平衡的結果，是通過電子或離子的轉換而形成的。靜電現象是電荷在產生和消失過程中產生的電現象的總稱。如摩擦起電、人體起電等現象。隨著科技發展，靜電現象已在靜電噴涂、靜電紡織、靜電分選、靜電成像等領域得到廣泛的有效應用。但在另一方面，靜電的產生在許多領域會帶來重大危害和損失。例如在個阿波羅載人宇宙飛船中，由于靜電放電導致爆炸，使三名宇航員喪生；在制造過程中由于靜電放電(ESD)，造成爆炸傷亡的事故時有發生。

在電子工業中，隨著集成度越來越高，集成電路的內絕緣層越來越薄，互連導線寬度與間距越來越小，例如CMOS 器件絕緣層的典型厚度約為0．1μm，其相應耐擊穿電壓在80-100V；VMOS 器件的絕緣層更薄，擊穿電壓在30V。而在電子產品制造中以及運輸、存儲等過程中所產生的靜電電壓遠遠超過MOS 器件的擊穿電壓，往往會使器件產生硬擊穿或軟擊穿(器件局部損傷)現象，使其失效或嚴重影響產品的可靠性。

※ ESD （Electro static Discharge ） ESD 的中文含意：靜電放電;

※因為電子產品生產中靜電放電是靜電危害最主要的部分，所以ESD 稱為靜電防護的代名詞。

二. 人體對靜電的感知

一般靜電放電現象是看不到的，人體對靜電的感知電壓在3KV 以上，當人體感知到靜電放電時有些電子器件已經擊傷或

暫時性失效。

人體對靜電不易感知的原因是：電量小、放電時間短。

軟體監控狀態顯示如下：

SMT 軟件顯示界面/設備監控顯示

安裝完之后實時顯示阻值：